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日本JEOL 熱場發射掃描電子顯微鏡

  • 價    格: 電議
  • 型    號:JSM-7200F
  • 生 產 地:日本 訪問:21次
  • 發布日期:2020/1/29(更新日期:2020/1/29)

日本JEOL 熱場發射掃描電子顯微鏡JSM-7200F

產品簡介

日本JEOL 熱場發射掃描電子顯微鏡 JSM-7200F,JSM-7200F的電子光學系統應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術,標配了TTLS系統(Through-The-Lens System),因此無論是在高/低加速電壓下,空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。

詳細內容

公司簡介

日本JEOL 熱場發射掃描電子顯微鏡 JSM-7200F

 

        

 

JSM-7200F的電子光學系統應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術,標配了TTLS系統(Through-The-Lens System),因此無論是在高/低加速電壓下,空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。

 

產品規格:

     

 

主要選配件

可插拔式背散射電子探頭(RBED)

高位二次電子探頭(USD)

低真空二次電子探頭(LV-SED)

能譜儀(EDS)

波譜儀(WDS)

電子背散射衍射系統(EBSD)

陰極熒光系統(CLD)

樣品臺導航系統(SNS)

電子束曝光系統

 

產品特點:

JSM-7200F的電子光學系統應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術,標配TTLS系統(Through-The-Lens System),無論是在高/低加速電壓下,空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。此外,保證300nA的最大束流,能兼顧高分辨率觀察和高通量分析,具有充實的自動功能和易用性,是新一代的多功能場發射掃描電鏡。

 

<特點>

 

JSM-7200F的主要特點有:應用了浸沒式肖特基電子槍技術的電子光學系統;利用GB(Gentle Beam 模式)和各種檢測器在低加速電壓下能進行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統(Through-The-Lens System);電磁場疊加的混合式物鏡。

 

浸沒式肖特基電子槍

 

浸沒式肖特基場發射電子槍為日本電子的專利技術,通過對電子槍和低像差聚光鏡進行優化,能有效利用從電子槍中發射的電子,即使電子束流很大也能獲得很細的束斑。因而可以實現高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。

 

TTLS(through-the-lens系統)

 

TTLS(through-the-lens系統)是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速電壓下能進行高分辨率觀察和信號選擇的系統。 利用GB(Gentle Beam 模式)通過給樣品加以偏壓,對入射電子有減速、對樣品中發射出的電子有加速作用,即使在低加速電壓(入射電壓)下,也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。 
此外,利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓,可以調節二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下,用高位檢測器(UED)就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子,可以用高位二次電子檢測器(USD,選配件)檢測出來,因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。

 

 

混合式物鏡(電磁場疊加)

 

JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發的混合式透鏡。 
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡,比傳統的out-lens像差小,能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以觀察和


關鍵詞:日本JEOL  熱場發射掃描電子顯微鏡  JSM-7200F  

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